白光干涉儀優(yōu)勢：
 

　　價格優(yōu)勢：市場上性價比的白光干涉儀。
 

　　簡單易用：只需將樣品放置于樣品臺上，即可直接進(jìn)行測量；
 

　　可以測量非接觸式非平坦樣品：由于光學(xué)輪廓測量法是一種非接觸式技術(shù)，可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測量曲面的表面光潔度，紋理和粗糙度。除此之外，作為一種非接觸式方法光學(xué)輪廓儀不會像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜。
 

　　無需更換耗材：只需要一個LED光源，無需其他配件更換；
 

　　可視化3D功能：Xper WLI輪廓儀具有強大的處理軟件，軟件除包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量外，還可以任意角度移動樣品量測三維圖形，多角度分析樣品圖像。
 

　　白光干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域：

 

　　納米尺度的厚度和輪廓檢測
 

　　WLI和PSI模式轉(zhuǎn)換
 

　　工業(yè)應(yīng)用：樣品和輪廓檢測
 

　　樣品類型：半導(dǎo)體晶圓，納米器件，生物材料，MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng)，lED發(fā)光二極管