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在線方塊電阻測試儀

EddyCus TF inline在線方塊電阻測試儀可以測量薄層的性能，如金屬層厚度，薄層電阻，輻射系數，殘余水分或在各種基材上的非接觸克重。相關基材有玻璃、箔、紙、晶圓片、塑料或陶瓷。通過常駐測量或觸發事件進行監測，以在快速移動的涂層過程中獲得等距離的結果。檢測解決方案可以在大氣或真空條件下實施。基于電渦流技術的檢測過程高采樣率更高。可以使用客戶的軟件為過程控制系統提供測量結果。此外，SURAGUS還提供監控軟件EddyCus EC Control，可視化、存儲和分析計量數據。

在線方塊電阻測試儀產品優勢：

非接觸式實時測量
高測量速度高達1000次/秒。
傳感器固定安裝或傳感器橫貫安裝
每個系統集成1 - 99個監控通道
在大氣或真空的過程控制
在許多應用中，非常接近襯底邊緣的測量是可能的
在變化的環境中通過溫度補償測量的長期穩定性
與測試材料之間的距離較大(例如60毫米/ 2.4英寸的間隙)
覆蓋導電層或封裝襯底的表征
眾多軟件集成分析

在線方塊電阻測試儀測量內容及范圍：

薄層電阻: 0.1 mOhm/sq up to 1 kOhm/sq

金屬厚度: 2 nm – 2 mm (根據材料電導率)

電阻率: 0.1 mOhm cm – 1 ohm cm

殘余水分(用非接觸式介電常數測量濕層)

電各異性: 0.33 to 3 (higher on request)

關聯屬性

克重: 0.1 to 1,000 g/sqm

輻射系數: 0.005 to 0.2

EddyCus TF非接觸式方塊電阻在線監測系統可在生產過程中直接對方塊電阻進行高速、非接觸式測量。典型的工藝包括PVD, CVD，在晶圓，箔，紙，聚合物或其他基板上的電沉積或常規沉積工藝。特別是這些工藝包括濺射、蒸發、外延或電鍍工藝。此外，這也涉及噴涂，槽模涂層或電子印刷過程。此外，片狀電阻增強過程，如薄膜的退火和摻雜或印刷電子產品的燒結，受益于電氣完整性的在線監測。氧化、蝕刻、拋光以及清洗和干燥過程的影響也是這種測試技術廣泛應用范圍的一部分。薄片電阻值通常轉移到MES系統，以保證質量，特別是過程控制。